二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9293686 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是一种高密度等离子体（HDP）反应器，利用高频、交流电（AC）和强烈、热化的H2等离子体的独特组合，制造出高可靠性、高性能的晶圆。AMAT CENTURA HDP反应堆采用大面积、多晶片支撑平台与高温陶瓷加热系统相结合，创建了一个能够实现超窄临界尺寸并同时沉积先进材料的工艺窗口。该反应堆具有快速热循环的快速工艺优化，具有可调气流能力和先进的工艺监测。APPLIED MATERIALS CENTURA REACTOR also features furns vacuum chamber to reminious aberrations to samply, as with chamber with various pressure and temper that can反应堆具有独特的多晶片负载锁区，可容纳直径可达300 mm的晶片尺寸，也使使用者能够单批装卸多个晶片。此外，特殊的静电卡盘和主动稳定提供了无与伦比的均匀性，以最小的过程开销最大程度地提高产量。CENTURA反应器具有应用任何所需等离子体工艺进行定时和蚀刻的灵活性。它使用户能够使用具有不同气体溷合、压力和射频功率水平的特定配方来产生不同的结构。它还提供有效的蚀刻深度、高各向异性和低表面粗糙度。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA发动机是一种交流耦合电感耦合等离子体（ICP）源,适用于硅和复合半导体材料的等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）和蚀刻工艺。AMAT CENTURA反应堆中的ICP源提供了非常高密度的等离子体，也可以进行调谐，使每个晶片跨4英寸和12英寸晶片量提供良好的均匀性。应用材料CENTURA反应堆利用独特的多晶圆负载锁定区,最大限度地减少晶圆对晶圆的不均匀性,并最大限度地提高工艺数据、吞吐量和盈利能力。它还具有自动腔室进入能力，无需在操作过程中打开腔室，确保工艺参数保持稳定。此外，针对晶圆面积和均匀性对CENTURA反应堆独特的多晶圆支撑平台进行了优化，显着提高了产量和吞吐量。最后，AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反应器是要求蚀刻、沉积和工艺优化的理想解决方桉。AMAT CENTURA反应堆具有高性能和先进的特性，可以为广泛的应用提供超高速处理。APPLIED MATERIALS CENTURA反应堆具有广泛的工艺可扩展性、易于使用的配方和高密度等离子体,是应对极端工艺挑战的终极工具。