二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9294341 待售
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ID: 9294341
晶圆大小: 8"
优质的: 2000
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 8"
AC Rack
Generator rack
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是一种用于薄膜沉积和表面处理的高性能反应器。用于薄膜沉积、薄膜蚀刻和表面改性等多种应用。反应堆由沉积室和反应堆端口两个主要部件组成。沉积室容纳要加工的基材。反应堆端口包含气体入口、气体排气和真空系统,以及一系列阀门和自动化部件。AMAT CENTURA的心脏是一个电子束枪,它将高强度电子束传递到基材上。这导致目标材料被电离,离子被吸引到发生化学反应的底物表面,从而产生所需的薄膜。电子束的能量被控制,以便对沉积速率进行精确控制。应用材料CENTURA能够处理各种材料。由于沉积过程发生在真空中,几乎可以加工任何可以加热到所需温度而无需氧化的材料。当蚀刻时,使用等离子体源允许调整光束强度并控制蚀刻速率。CENTURA反应堆的控制和自动化系统确保整个过程以统一和安全的方式进行。建立了各种安全联锁装置,以确保立即发现和处理危险情况,如过压和异常电气情况。沉淀室和反应堆端口的设计都便于进入和维护。设备的所有部件都设计成能够快速高效地进行定期维护或维修。同时,所有部件都设计为确保始终保持最高安全度。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是一种用于薄膜沉积和表面处理的高性能、可靠和安全的反应器。它是从精密薄膜沉积到蚀刻和表面改性等多种应用的理想工具。AMAT CENTURA反应堆拥有高能电子束枪、自动控制和安全系统以及易于维护,是任何实验室或制造设施所必需的。
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