二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9298670 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler是设计用于半导体制造应用的领先技术反应堆。它汇集了一系列的过程控制、机器人技术和材料传输解决方桉,从而实现了高效的多步半导体过程操作。这种集成提高了吞吐量,并允许使用手动方法无法完成的更复杂的处理。Enabler还使用高级计量和分析来提供有关流程性能的精确反馈,以确保最佳性能。Enabler由许多相互连接的模块构成,并具有模块化体系结构,可方便地更换和升级各个组件。这些组件包括反应室、传感器、控制监控器、加工化学品和各种支持系统。各组件之间的连接由高级控制设备维护。Enabler的模块化设计允许在工厂内或跨多个工作单元轻松移动。Enabler利用了几个不同的工艺室，从而能够成功地制造半导体元件。这些为制造纳米级晶体管而优化的工艺室包括湿清洁室、氧化物厚度室、反应性离子蚀刻室、法拉第笼和蚀刻缓冲室。每个腔室都设计有特定的特性和组件，以方便纳米级晶体管的成功制造。启用程序还利用高精度远程光学计量系统来监测和分析反应堆的性能。这一光学计量单元结合了传统光学和先进的数字成像技术，对所加工产品的形状和尺寸进行精确测量。这台机器提供关于反应堆性能的反馈，并能够优化工艺参数，以产生所需的结果。Enabler具有安全功能,可在制造过程中安全部署。反应堆有几个保护领域，在使用过程中保护化学品和其他材料。这些安全功能包括先进的防漏、火灾探测系统和遥控监控。AMAT Centura Enabler是一个高度集成的工具,旨在实现高效的多步骤半导体工艺操作。它使用先进的计量和分析技术,为优化性能提供精确的测量,并具有可靠的安全功能,可在制造过程中安全使用。Enabler是制造纳米级晶体管和其他微电子元件的理想解决方桉。