二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9312776 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是一种多室反应器，设计用于高级加工应用。适用于处理外延生长、蚀刻、干蚀刻、金属沉积等多种苛刻任务。AMAT CENTURA是量产的设备，意味着它是高度可靠和高效的。反应堆由一个独立的源室、过程室和一个载荷锁室组成。它采用动态设计,具有针对各种流程进行优化的暖区。腔室控制和隔离系统提供安全操作和保护过程环境。APPLIED MATERIALS CENTURA提供了多个加热和冷却区域,可用于快速改变每个工艺室的温度,从而实现最佳的热稳定性。此外,背面晶片加热器可实现均匀温度,防止出现热点和其他可靠性问题。CENTURA还能控制腔内的压力。采用连续流动原理和自补偿压力控制系统。这确保了工艺环境稳定，蚀刻工艺均匀。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反应堆还提供了几种工艺控制工具，以确保均匀性并实现改进的工艺性能。利用这些工具，用户可以监控气流，控制基板温度，调节压力值。此外，集成的自动晶片处理系统为用户提供了在腔室之间快速方便地传输晶片的能力。此外，AMAT CENTURA反应堆配备了坚固的安全和维护装置。该机器包括自动过载保护、传感器控制操作、运行结束诊断和预测性维护工具等功能。这使用户能够确保其反应堆始终处于峰值性能运行状态，并向他们保证其工艺结果符合规定。总体而言,APPLIED MATERIALS CENTURA是一种可靠高效的反应堆,专为复杂的高通量工艺应用而设计。它提供了多种流程控制工具和自动化晶圆处理系统,用户可以轻松管理不同的流程。此外，其强大的安全和维护资产为用户提供了一种信心，即他们的反应堆将高效运行并产生可靠的工艺结果。