二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9355266 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler是一种革命性的过渡金属化学气相沉积（TM-CVD）反应器。它具有最新的等离子体表面相互作用技术和先进的PECVD-CVD兼容性，以实现独特和创新的基板。Enabler旨在加快先进绝缘材料的发展，如高k电介质和增强封装集成的屏障膜。Enabler建立在一个强大的平台上，具有先进的反应室、温度控制和沉积系统。它是一个开放的系统，兼容多种气体以支持多层过程。通过高效的设计,Enabler提供了高吞吐量和长期可靠性,而且维护和停机时间最短。其全面的自动化控制和数据检索为复杂的过程和应用提供了卓越的性能和灵活性。启用码为一系列高级材料提供高速率沉积。是生产优质电介质和先进设备互连薄膜的可靠平台。其双电源和多频源线圈可实现多个过程窗口,从而对沉积速率和组成进行了更好的控制。Enabler能够为极低吸氮的CMOS设备生产高质量的界面层。这是低k材料和未来一代集成的理想选择。因此，它已被全球领先的铸造厂和大学采用，用于薄膜设备和工艺。此外,通过其低成本、紧凑的尺寸和高效的技术,Enabler可以帮助降低材料成本并扩展工艺能力。这将推动高性能材料的开发,并提供成本效益更高、更可靠的流程。AMAT Centura Enabler是一种先进的TM-CVD反应器，具有先进的等离子体-表面相互作用技术和PECVD-CVD兼容性。它能够开发先进的绝缘材料，其先进的功能可以实现多种工艺窗口和多种气体。其双电源和多频源线圈使沉积速率和组成得到了更好的控制。Enabler是生产低吸氮优质电介质和互连薄膜的绝佳平台。Enabler经济高效、紧凑高效,是低k材料的理想解决方桉,在全球范围内适用于薄膜设备和工艺。