二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9384520 待售

ID: 9384520
CVD System ICP.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反应堆是一种中型沉积工具,设计用于科学研究和工业导向的应用。它是一种适用于一系列技术应用的高性能、高效、可靠的工具,从半导体、聚合物等薄膜材料的生长到蚀刻和掺杂。一般而言,AMAT CENTURA反应堆由三个主要部分组成:气体输送室、源和基板支架。气体输送室容纳化学物质(氧化物、卤化物、氢化物等)、惰性气体和掺杂剂等气源。源或目标产生一束材料或能量,取决于各自的反应或沉积类型。然后,该梁被定向到放置在基板支架中的基板上,该基板支架的设计允许精确控制基板的位置。材料和能源的这种产生和定向运输受到一系列组件的调节,如气体调节器和百叶窗、束线元件和光子电源。APPLIED MATERIALS CENTURA的各种结构组件-包括其腔室、源和基板托架-通过强大的计算机化控制台进行连接和协调。该控制台允许对沉积过程进行精确而复杂的控制,并提供卓越的性能,平均晶圆厚度均匀度为+/-0.1微米。此外,控制台非常方便用户使用,能够进行示例加载和远程操作,并且包括配方编程和实时过程监控等功能,CENTURA反应堆非常可靠,能够稳定、准确地运行。通过改进的系统体系结构和高效的功率控制,能够实现高质量、卓越的石墨化和抗氧化性薄膜材料的生产,同时显着降低能耗。总体而言,AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反应堆运行简单可靠,性能卓越。其良好的温度均匀性和较高的沉积速率意味着它是一种适用于各种薄膜沉积过程的工具。它也是高效率和可靠的,使其成为一种成本效益高的顶级沉积工具,非常适合任何工业或研究应用。
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