二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9389470 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反应堆是一种高性能、全尺寸的半导体加工设备。它提供了优化的热控制，设计用于执行半导体制造过程中所需的各种蚀刻、沉积和其他处理步骤。AMAT CENTURA具有一个能够容纳多个晶片负载的腔室，以及每个包含最多四个晶片的负载锁。它配备了一套高精度离子源、等离子体源和自动晶圆传输机制。该系统还提供了一整套工艺控制选项，包括腔室压力、温度和气体流量，以及离子源的功率和频率设置。APPLIED MATERIALS CENTURA反应堆由65 W电源供电,能够按需提供高达100%的电源。该单元还配备了一个温度控制模块和多套加热器，允许处理室的高精度和快速热循环。腔室由不锈钢构成，周围环绕着特氟龙半导体气体安全护罩。为了最大限度地提高净度和颗粒控制，该机还具有自动化的高性能边缘焊缝清除和泄漏监控系统。CENTURA反应器能够执行一系列的工艺步骤，包括氧化物蚀刻沉积、氮化物蚀刻沉积、先进的沉积工艺如CVD、PVD和PECVD，以及正面蚀刻。其先进的工艺控制软件允许用户精确定义工艺参数和气流，监控腔室压力，管理腔室冷却时间，与其他系统相比，所有这些都提供了更高的精度和工艺质量。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反应堆是任何半导体制造设施中的一个有价值的补充，提供了一种提供高性能和精确度的工具的能力。其工艺步骤的范围、先进的工艺控制和高温提供了最高质量的结果，从而提高了性能和输出质量。