二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9390091 待售
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ID: 9390091
Etcher
(2) DPS II Chambers
AXIOM Chamber
KAWASAKI 3NX540B-A303 Robot
Controller
MISC
Missing parts:
VHP Robot and driver
Rapid OE of AXIOM.
AMAT和AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反应堆是用于先进半导体和光伏器件制造的先进工具。这种反应堆是一种化学和物理气相沉积(CVD/PVD)系统,常用于在洁净室环境中大量生产硅基器件。应用材料和AMAT CENTURA系统以其优越的质量和高通量能力,是太阳能电池和其他先进光电生产的首选。AMAT/APPLIED MATERIALS and APPLIED MATERIALS CENTURA REACTORS are agained advanced chemical and physical vapor deposition chambers, which is accular to producing highly controless and monited end.反应堆由多个小直径管组成,每个管包含不同的前体。管子被加热产生热或等离子体环境,使前体分子分解、反应和重组,在底物上沉积一层受控的、均匀的薄膜。根据预定规格对薄膜的厚度和组成进行监测和调整。反应器也可用于退火过程,以修改基板的电学和光学特性。此外,反应堆具有原位真空诊断能力,能够利用傅立叶变换红外光谱(FTIR)、残余气体分析(RGA)、激光诱导荧光(LIF)和质谱(MS)等多种技术对沉积过程进行高精度监测。这种诊断能力还可以持续监控薄膜的生长和工艺性能,从而实现高产量和优异的设备可靠性。AMAT和CENTURA反应堆具有先进的工艺能力,并具有先进的安全特性.反应堆是模块化的,效率很高,适合实验室和工业环境中的应用。该反应堆也是生产商用大型装置的理想选择,因为它能够处理各种厚度的基材和薄膜。此外,这些设备可以自主运行,从而实现连续、自动化的批量生产。总体而言,应用材料和AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反应堆由于其强大的设计、高精度的监控能力和先进的安全特性,仍然是半导体和光伏装置生产的首选。反应堆能够在厚度和组成均匀的洁净环境中生产高质量薄膜,从而能够生产可靠和高质量的装置。
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