二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for Centura #293663175 待售

AMAT Centura Chamber是一种化学气相沉积（CVD）反应器，用于多种应用，如沉积薄膜太阳能电池、内存存储设备、显示技术和光伏电池。该室由反应室、源室、参数室和受控大气室组成。反应室包含底物支架，是该室最大的组分。由室温至350摄氏度温度范围可调节的红外灯加热。腔室为高通量而设计，一次最多可处理800个基板，视腔室大小而定。它的顶部有一个石英窗口，可以查看沉积过程。源室用于引入沉积所需的反应物，位于反应室下方。它含有一个喷射器，加热到250摄氏度，让反应物汽化。加热的反应物蒸气从源室进入反应室，在那里它们被沉积到底物上。参数室用于监测和控制沉积过程，温度从室温控制到250摄氏度。最后，受控大气室在沉积过程中管理大气室中的大气，可以由惰性大气转换为活动性大气。这对于取得一致的高质量和可重复的结果非常重要。APPLIED MATERIALS Centura Chamber是一种先进的CVD反应器，设计用于薄膜沉积应用的高性能和可重复性。通过对沉积过程提供多用途和精确的控制，腔室已成为世界各地设计师的宝贵工具。