二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for Endura CL #293660732 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Chamber for Endura CL是一种专门设计的反应器，用于在半导体制造过程中应用化学气相沉积或CVD。这个高性能的腔室提供了各种各样的工艺能力，使芯片制造商能够创造出可靠和耐用的半导体。该反应器室具有强烈的气流设备和先进的热控制系统，能够对沉积过程进行最佳和精确的控制。这些相同的系统可实现精确的温度和压力控制、化学一致性和最小的污染。不锈钢腔室还采用了隔离双通风室设计，不需要鼓风机。这降低了压力。AMAT Chamber for Endura CL也使用多区域流程，确保每个流程区域都正确配备了合适的环境、用品和控制协议。这确保了均匀的沉积速率和可预测的过程。该室还采用了先进的淋浴头设计，以确保均匀的平板平行和气态分布，以及用于均匀分布前体的16节等离子弧喷嘴。该腔室的总腔室大小为6.8（长）x 5.2（宽）x 6（高）英尺,重量为9,500磅。它可以现场安装在两种备用配置中,即串联配置或独立配置,并设计用于通过多个端口和诊断面板提供高级访问,方便维修。应用材料室的Endura CL已证明其安全与独有的压力下增强安全系统。这样可以防止腔室超压事件离开操作范围，以及保护真空单元和腔室组件。Chamber for Endura CL的整体设计使其成为高产芯片制造的宝贵工具。其精密的设计和技术使它成为化学气相沉积过程中最容易被击败的机器。