二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for P5000 #293621288 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Chamber for P5000是一种用途广泛的反应器,专为各种材料沉积和蚀刻应用而设计。它具有一个大的真空室，直径为18英寸，长度为24英寸。腔室可达到低于5.0 x 10-9 Torr的底压，与适当的泵送系统配对。它还配备了自动升降帽清洗系统，以尽量减少除气并改善处理结果。AMAT P5000 Chamber配备了工艺气体引入系统（PGIS）,该系统可提供多达三个完全可控的阀门,并具有独立的流量控制和溷合阀。这可以精确控制沉积和蚀刻过程，为不同的材料和应用提供多种工艺配方。该室还具有电磁（脉冲）等离子体源和计算机控制的快速等离子体（RPC）系统，可用于创建高级等离子体过程，同时提供卓越的均匀性和过程控制。AMAT Chamber for P5000还配备了多区域供暖和制冷能力，允许严密的过程控制。它包括多个用于热稳定性的双铵加热器和石英腔室壁，以及在高功率过程中保持腔室温度的冷却水口。P5000会议厅的设计便于维护，延长使用寿命，最短停机时间。它包括一个独立的腔室监控器，用于监测沉积均匀性和工艺腔室功能。该腔室还包括一系列安全特性，如大型外部CCD视口、离子计和众多安全联锁装置。结合P5000应用材料室的先进技术及其广泛的工艺配方和精密加工能力，是材料沉积和蚀刻应用的理想选择。凭借其精心设计的结构，确保以高效可靠的方式进行优越的材料加工。