二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for P5000 #293634883 待售
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ID: 293634883
AMAT-APPLICED MATERIALS P5000 Chamber是一种设计用于半导体制造过程的高性能反应器。这个腔室用来制造真空,便于在半导体上蚀刻和沉积不同的材料。该腔室包括一个独特设计的机械臂,用于处理晶片,从而能够对半导体材料进行高效、精确的操作。P5000室设有一个空气轴承、三轴运动平台,可以精确地将机器人从基板移动到基板。这个运动平台能够达到每秒五英寸的受控速度。此外,该室还配备了自动温度控制设备,在加工过程中为晶片提供统一的温度控制环境。腔室配有真空系统,在基室处形成密封。此单元产生高达10-7 Torr的真空。腔室再配有气体输送机,使使用者可以选择多种气体如氦气、氙气和氮气,为沉积或蚀刻过程创造所需的气氛。除了出色的真空工具外,P5000还配备了最先进的扫描电子显微镜资产。该模型利用超高清电子束,该电子束能够分辨出小至0.005微米的特征。此级别的分辨率使用户能够实时监视沉积或蚀刻过程,并在过程完成前进行任何必要的调整。总体而言,AMAT/APPLIED MATERIAL-AMAT P5000室为半导体材料的蚀刻和沉积提供了卓越的性能和可靠性。该腔室能够在极端条件下运行,并且由于其坚固的设计,提供了长期的可靠性。因此,它是制造高性能、可靠的半导体产品的理想选择。
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