二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for P5000 #293634885 待售

AMAT （APPLICED MATERIALS） P5000 Chamber是一种单晶片、间歇反应器,旨在对各种温度范围内的沉积流体进行精确控制。该室采用了最先进的设计，通过在反应堆内保持极低的均匀温度轮廓，减少了颗粒污染，避免了不均匀。AMAT/APPLIED MATERIALS P5000室包括用于精确温度控制的高性能高温加热设备。该加热系统由均匀的薄膜陶瓷加热元件、高密度的陶瓷绝缘层和蒸发气体单元组成，以传递所需的温度剖面。利用直流直流电源保持腔室温度分布的均匀性,该电源可精确控制加热元件的温度和加工气体量。AMAT P5000 Chamber包括自动化功能,可进行精确的流程监视、控制和数据记录。该腔室包括一个装卸机器人、一台RF载荷锁定机、一台自动阀门工具和一个自动腔室压力控制器，以确保精确控制和统一处理参数。基于模板的计算机控制资产使操作员能够快速、轻松地设置和监控流程条件。该腔室的惰性铂金腔室具有坚固的腔室门和气密密封,可最大程度地降低加工过程中受到污染的风险。其不锈钢内壁和地板提供出色的传热和抵抗化学反应的过程气体或沉积液。该腔室设计有两个端口，一个用于沉积流体，一个用于废气，以确保对工艺环境的精确控制。腔室的环境监测模型确保气体浓度或压力的任何变化都得到快速准确的监测。该设备包括多个传感器和监视器，允许对工艺环境进行精确控制。应用材料P5000室还包括一个高效的空气过滤系统，以保护工艺环境免受有害的污染。综上所述，AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Chamber是一种高性能、单晶片间歇反应器，设计用于各种应用的精确沉积。其最先进的设计提供精确的温度控制、自动化的过程监测和控制，以及一个环境监测单位，以确保无污染的过程。该室是实现高精度沉积的绝佳选择。