二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for P5000 #293653986 待售

AMAT P5000 Chamber是一种半导体加工工具，用于开发和制造先进的晶圆级器件。它是一种能够控制大功率真空级沉积过程的多边形等离子体反应器。P5000室具有先进的特点，包括大型工艺室、出色的热控制、均匀的等离子体分布以及安全高效的操作。大的内室使大型基板的加工成为可能，如300 mm和450mm晶圆。热控制由创新设计提供,具有单独隔离的冷热板,也可通过电子预调制来提供均匀的基板温度。等离子体均匀分布由多区域磁增强射频室和高密度淋浴电极保证。P5000室将腔室空间分成五个不同的区域，以尽量减少受污染造成基板损坏的风险。它还采用了一种新的等离子体线路发生器技术，使腔室能够保持均匀的等离子体以实现高通量过程。该室还配备了全气闸系统，以减少污染水平，从而能够有效运作。腔室能够生产纯氧化物、氮化物、碳化物和耐火金属。它配备了一个八角形等离子体石英源、一个压印的感应耦合等离子体源和一个增强的电子回旋共振源，提供了最高水平的沉积精度。它特别适合于III-V器件，如砷化氙、氮化氙和砷化铝的（GaAs/GaN/AlGaAs）。应用材料P5000室旨在为高精度设备生产和研究提供安全可靠的环境。它结合了一个大的加工室与直观的用户界面，先进的等离子体和热控制，以及可靠的污染控制。这确保了高质量的制造可产生经济高效的工艺。