二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for P5000 #9213363 待售

AMAT P5000 Chamber是一种用于薄膜加工的超高真空反应器。这种尖端的腔室适合任何类型的大气，而多样性和柔韧性是标配的，允许反应堆处理不同的底物和过程。反应堆本身由不锈钢、铝和无氧铜制成，确保了可靠的性能和寿命质量。利用特高压腔壁，反应堆还能够在惰性大气中处理困难和反应性物质。APPLICED MATERIALS P5000 Chamber也有专门的部件，如两区加热元件和射频匹配网络，以确保最佳性能和所需的薄膜。腔室可操作至3000摄氏度，工作压力范围为1.3x10-10 mbar至1x10-6 mbar。它可以在整个腔室中形成严密的温度和压力剖面,以实现材料与最佳工艺之间的协同作用。此外，该室还具有一个溷合索引光栅扫描能力，以统一的目标基板区域和一个完全可编程的机动化阶段访问整个基板。AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Chamber与多种源和引进系统兼容，包括电子枪、Thermion、离子枪、电子束和离子源。其先进的诊断、坚固的泵送系统和灵活的配置使其成为任何薄膜制造应用的理想选择。该室易于安装和维护，使用方便用户的控制和诊断，简化了流程和任务。AMAT P5000室具有许多先进的特点，是一种可靠且用途广泛的薄膜加工反应器。它提供了最佳的工艺气氛、严密的温度和压力剖面，以及各种工艺中均匀的基板覆盖。由此，这座反应堆有助于实现高质量的薄膜元件和一致的产品。