二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for P5000 #9255084 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 AMAT/APPLIED MATERIALS CHAMBER for P5000是一种高效的多模真空反应器,用于半导体工业中的许多工艺。用于晶片的蚀刻、沉积和退火。配备先进的真空设备、先进的动力和气体输送系统以及集成控制器。P5000室对反应条件提供高效、精确的控制，包括压力、温度和气体组成。P5000系统采用密封高温真空室。该室采用双门设计，可提供有效的隔热和工艺气体隔热。腔室的墙壁由石英制成，能够承受高温和高强度的工艺。腔室内部容积5.9升，可密封至10−6Torr底压。P5000室利用先进的加工泵、质量流量控制器和气体分配阀来精确调节气体流量和压力。质量流量控制器确保准确控制气体流量和多种气体的线路溷合。P5000室配有先进的送电装置。它包括一个宽频率范围为50 Hz-1 MHz的平面射频源，以及频率范围高达4 MHz的热灯丝源。动力输送机允许精确控制等离子体的功率水平和均匀性，从而实现均匀的无功离子蚀刻过程。P5000工具还具有高分辨率温度控制器,能够将温度升高到1000 °C。P5000资产的集成控制器使反应堆能够轻松高效地运行。它的触摸屏界面使访问任务变得容易，并且它的高级编程选项允许优化过程控制。P5000还配备了压力控制、失速检测、热防护等各种安全功能。AMAT/APPLIED MATERIALS/AMAT P5000 Chamber是半导体工业中许多工艺的通用可靠解决方桉。其先进的真空、动力和气体输送系统、集成控制器和安全功能有助于确保高效、精确的过程控制。该P5000能够在各种晶片上进行蚀刻、沉积、退火和其他工艺。