二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for P5000 #9377276 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Chamber是专门为执行各种微加工工艺而设计的工艺设备工作单元。它是一种坚固、高精度的设备，设计用于大型潜在应用，如纳米光刻、纳米材料生长和设备原型设计。它的工程和设计特性使其成为复杂、长期过程和高通量过程的理想空间。AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Chamber是一个垂直腔室，装有冷冻泵和机械助推泵。它拥有专利的双环单向ICP源，真空操作压力范围从粗糙到超高。两个离子轰炸口和两个法拉第盾牌位于该室的上下两部分。腔室有一个可移动的顶盖，便于进入晶片加载和底板可以从顶部或底部打开。整个腔室可以用垂直的滑动门关闭，从而密封腔室及其外部环境。该腔室配置性强，为样品装卸提供各种选择，包括手动、自动盒式磁带更换和原位基板更换系统。它可以支持多种气体系统，如多元素离子或质量流控制器或单气体储存系统。此外，P5000室包括一个集成的真空单元控制器（ISC）和一个"智能"加热机，它允许激光烧蚀、快速热退火和其他高温处理的集成。P5000室设计用于物理气相沉积、溅射、CVD、蒸发、蚀刻、沉积、纳米光刻、颗粒植入等多种工艺。该室的特点，连同它的构造和设计，提供了一个非常适合大容量工艺的环境。它还提供了延长的使用寿命、可靠性、低维护成本和高质量的静水轴承工具。AMAT APPLIED MATERIALS P5000 Chamber是一个先进的高性能室，设计用于各种微加工工艺。它提供了卓越的效率、延长的使用寿命、多种配置以及精确控制过程参数和环境条件的能力。因此,它是需要高精度结果的应用程序的理想选择。