二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Chambers for Centura DPS II #293664214 待售

AMAT Centura DPS II是一个先进的高性能单晶圆反应堆，为用户提供高吞吐量和最大正常运行时间。非常适合生产用于电子工业的优质硅片。该机具有获得专利的双工艺、单晶圆设备（DPS）技术，使其能够在一个反应堆腔室上执行多种工艺功能。它配有两组圆柱形腔室，每个腔室最多可处理24个晶圆。腔室具有坚固的自由浮动、双密封设计，可防止污染和高杂散磁场。APPLIED MATERIALS Centura DPS II由四个独立的腔室组成,即负载锁、过程、清除和出口腔室。载荷锁室是硅片装入的第一个腔室。这个腔室装有抗菌污染防护技术，防止污染物进入系统。该工艺室装有可调节功率水平的精确控制射频加热单元，其设计目的是在整个腔室内均匀的基板温度下实现最大屈服。该腔室还配备了可用于配置和控制工艺参数的板载工艺控制器。净化室设计用于安全地清除任何剩余的反应气体和颗粒，有助于确保清洁过程的结果。出口室的设计是为了确保从机器中安全去除晶片。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II具有高级诊断和监控功能。这座反应堆装有一台过程控制计算机（PCC），这是一台控制其运行的主控制计算机。PCC还具有远程监控功能,用户可以从世界上几乎任何地方监控反应堆的性能。该工具还提供详细的诊断和警报功能,以确保资产的最佳性能。总而言之，AMAT Centura DPS II是一种先进的单晶片反应器，旨在为电子工业生产高质量的硅片。它配备了四个单独的房间，每个房间都是为特定目的而设计的，并具有先进的诊断和监测能力。它采用最新的工艺控制技术设计，具有在一个反应堆腔室上执行各种工艺功能的能力。