二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Chambers for Centura eMax #293664215 待售

AMAT Centura eMax是一个处理晶圆的腔室。它是一种可靠、坚固的设备,具有广泛的工艺能力和可重复性。这种腔室具有1.0 x 10-6 Torr的底压，可以很容易地适应直径最大到8英寸的大范围晶片。eMax腔室由铝制底板和集成晶圆加热器、顶板、逃逸口和静电卡盘组成。电源、温度控制器、晶片装载机和卸载机都是集成系统的一部分。晶圆加热器为晶圆提供了最高250°C的稳定温度，允许广泛的奇特过程。eMax腔室利用独特的静电卡盘单元在晶片表面提供均匀、均匀的静电力应用。这样可以实现非同寻常的均匀性和可重复性,因为它可以确保晶片在处理过程中牢固地固定在适当的位置。此外，该机还包括一个自动化的气体输送工具，以提供对原位过程环境的精确控制。这可确保腔室保持在所需的温度和压力下，并确保适当的气体溷合物可用于该过程。二维晶圆居中资产确保晶圆在加工过程中始终居中，确保晶圆稳定性和最大均匀性。集成剂量控制器提供快速、准确的剂量测控。最后，该室方便用户，易于维护。先进的监控模型和用户界面使查看实时数据和在需要时采取纠正措施变得简单。界面也是可定制的,因此可以根据用户的个人需求进行定制。APPLIED MATERIALS Centura eMax腔室是一种可靠、坚固的晶圆加工设备。其广泛的功能、可重复性和易用性使其成为任何应用程序的理想系统。