二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPN #148641 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPN是用于集成电路（IC）制造的工具。它是一种用于在硅片上形成介电膜的等离子体反应器。AMAT DPN由四个组成部分组成；真空室、射频（RF）等离子发生器、电极和配方控制器。真空室是一个圆柱形的容器，内径通常在0.35至2.13米之间。它由不锈钢制成，通常用油扩散泵进行真空密封。它在沉积过程中保存着通常是硅片的基材。射频等离子体发生器用于产生沉积过程所需的带正电的离子和电子。这种射频发生器产生一种高频（HFRF）波形，提供给插入真空室的天线。这个波形被调制来引导电离粒子的流动，这些粒子被用来将所需的物质沉积在晶圆上。发电机由几个不同的组件供电，包括高压电源、波形发电机和波形监视器。电极安装在真空室内部，由铝、钨或铜制成。电极的形状和大小因发生沉积的类型而异。例如，平面电极通常用于扩散应用，而环形电极则用于化学气相沉积（CVD）应用。配方控制器是控制沉积过程中使用的参数的计算机系统。这包括HFRF波形的时序和强度、电极功率水平和温度、真空室内的温度和压力以及沉积的脉冲频率。它负责确保沉积过程准确并符合客户的要求。总之,APPLICED MATERIALS DPN是一种用于集成电路制造的工具.它由四个组成部分组成；真空室、射频等离子体发生器、电极和配方控制器。DPN产生带正电的离子和电子，用于将介电膜沉积在基板上，通常是硅片。借助配方控制器，按照客户的要求，精确控制沉积过程，在晶片上产生一层材料。