二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS G5 Mesa #9271010 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS G5 Mesa是一种专门为半导体和光电工业中的薄膜沉积而设计的高温反应器。该反应器以化学气相沉积（CVD）原理为基础，采用热线方式生产单晶薄膜。该设备提供了一个特殊的控制水平，允许操作员创造非常均匀的涂层具有出色的附着性能。CVD工艺发生在耐燃石英管中，使其适合与各种惰性和腐蚀性气体兼容。AMAT DPS G5 Mesa是一种全自动半导体反应堆，能够达到高达1200 °C的温度。它配有错综复杂的温度控制系统和先进的热力学传感器，以确保整个沉积过程的热管理均匀。反应堆可以以连续模式或脉冲模式运行，具有调整沉积速率参数的能力，以便精确调节反应堆的性能。它还配备了一个掩蔽装置，便于在不同的沉积速率之间切换，甚至在石英管的不同区域内沉积不同的材料。除了常规的CVD工艺外，APPLIED MATERIALS DPS G5 Mesa还支持多膜沉积、离子轰击、溅射、脉冲等离子体沉积和蒸发等多种先进工艺。这些工艺在半导体工业中有多种应用，从表面改性到电介质、导体、3D纳米结构，甚至光电材料。DPS G5 Mesa还提供了广泛的安全功能，包括自动压力和温度控制、泄漏检测以及紧急关闭。为确保操作可靠，该机配备了广泛的内置安全特性。这些特点，加上单位提供的清洁室级真空环境，使其成为各种先进材料沉积工艺的理想选择。