二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DxZ #9218980 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DxZ Reactor是一种先进的金属氧化物等离子体蚀刻工具，专门为生产精确精确的冶金结构而设计。AMAT DxZ Reactor设计用于提供高效、高密度的等离子体蚀刻材料，如铝、铜和其他氧化物，用于生产复杂的冶金结构。APPLIED MATERIALS DxZ Reactor使用直流（DC）电压在低压氢基等离子体上的应用。直流功率由循环耦合高频（HF）和低频（LF）波的振荡器产生，允许调整蚀刻的大小、形状和密度，同时在整个过程中保持离子和自由基种类的高度均匀分布。HF波和LF波的结合导致了有效的蚀刻过程，提高了蚀刻均匀性和更高的蚀刻速率。DxZ反应堆由先进的过程控制系统控制，该系统使用反馈信号来调整功率水平和气体流量，以改进对蚀刻材料的控制。反馈提供了有关蚀刻工艺化学性质的实时数据，有助于确保每次都实现所需的冶金结构。此外，AMAT/APPLIED MATERIALS DxZ Reactor也可以自动化，在均匀样品上提供完全可重复的蚀刻。AMAT DxZ反应堆能够蚀刻多种材料，包括单层或多层堆栈、穿孔结构和微观特征，从而能够产生复杂的图样和结构。除了蚀刻操作外，APPLIED MATERIALS DxZ Reactor还能进行钝化操作、薄膜沉积和模式转移。这些能力使DxZ反应堆成为冶金研究和冶金微结构生产的宝贵工具。适用于特定元素教育的分析工具，如SEM成像和EDX光谱学，也可以用于分析X-Y蚀刻样品。总体而言，AMAT/APPLIED MATERIALS DxZ Reactor是一种先进的金属氧化物蚀刻工具，专门为生产复杂的冶金结构而设计。AMAT DxZ反应堆采用HF和LF波的组合，以提高均匀性的方式实现高效蚀刻速率。反应堆由先进的过程控制系统控制，也可自动用于可重复样品。此外，应用材料DxZ反应器能够进行钝化操作、薄膜沉积和模式转移。这些特性使得DxZ反应堆成为冶金研究和复杂结构生产的宝贵工具。