二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Electra #9088658 待售

AMAT/APPLIED MATERIALT Electra是属于高效薄膜沉积系统家族的大型化学气相沉积（CVD）反应器。这种用途广泛的反应器设计用于将各种材料层（包括金属、氧化物、氮化物和碳化物）沉积在玻璃、薄膜、陶瓷和聚合物等刚性和柔性基板上。AMAT Electra的高效性能是通过自动化晶圆处理、实时调谐和现场过程监控等集成过程控制功能实现的。应用材料Electra利用三种主要成分在基板表面上沉积超薄膜：封闭式气流设备、涡轮分子泵和低压真空室。封闭式气流系统包含气体入口和出口的组合，设计用于气体入口和排气。该单元为伊莱克特拉的反应室提供精确、持续控制的气体供应。涡轮分子泵是一个独立的与反应室相连的子系统，其目的是将腔室排空到适合CVD处理的压力范围。最后，低压室是一个装有包含独立隔离室的整合式排气机的隔离器。AMAT/APPLIED MATERIALT反应堆能够在广泛的基材上沉积广泛的材料层。该工具提供了优越的薄膜均匀性，具有优于4E-04的均匀性指数（根据反射高能电子衍射测量）。在AMAT Electra上可以研究多种不同的膜，如金属氧化物、氮化膜和多层体系。该反应堆的多功能性通过形成不同表面形态的灵活性得到进一步增强，可以根据客户的需求进行定制。APPLIED MATERIALT Electra还提供了一系列用于过程优化和控制的功能。实时调谐功能使沉积过程能够在各种条件下进行优化。此外,现场监控功能使操作员能够实时监控配方参数,从而能够快速高效地诊断问题。自动晶圆处理还有助于最大限度地减少停机时间并最大限度地提高吞吐量。总之，Electra是一种先进的CVD资产，它提供了在各种基板上沉积超薄膜的能力。AMAT/APPLIED MATERIALT Electra的特点，如其广泛的气流和工艺优化，使得连续和自动化的操作能够高效沉积。AMAT Electra适用于多种薄膜应用，如金属氧化物、氮化膜和多层系统，使其成为最通用的沉积系统之一。