二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler #293594345 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler是一种高温高压化学气相沉积(CVD)反应器,能够制造先进材料,如薄膜。AMAT Enabler能够在水平和垂直位置运行,因此它是从半导体器件到微机电系统(MEMS)等应用的理想选择。应用材料启用器的核心是一个密封反应室,其中化学反应是通过引入反应性气体引起的。腔室设有两条可完全调节的气体入口管线和两条可调节的排气管线,允许对气体流动进行精确控制。该室还配备了诊断和安全功能,如压力表和温度传感器,以确保安全和成功运行。在材料加工中,Enabler利用CVD,一种使用注入反应物在基板上沉积薄膜的工艺。这一工艺是有利的,因为它提供了良好的步长覆盖和层均匀性,并且与从半导体到金属、氧化物和氮化物的各种材料兼容。AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler的反应室设计用于高压高温操作。最高工作温度为1200 °C,压力范围为1至大气。腔室可容纳多种基材,包括晶片、模具和MEM器件。AMAT Enabler也是高度可配置的,为用户提供利用多种光源的能力,包括加热的磁化器、升空光源和电子束(电子束)蒸发器。这种灵活性允许对不同的反应环境和材料进行实验。APPLIED MATERIALS Enabler是一种先进而强大的材料制造和研究工具。其用户友好的设计、坚固的构造和定制功能使其成为任何实验室或生产设施的宝贵资产。
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