二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler #293753880 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler是一种先进的高温热反应器，设计用于处理一系列材料。该反应堆又称等离子体增强型CVD或化学气相沉积反应堆，主要用于半导体工业。它是一种多室设备，有一个中央加工室，里面装有等离子体产生源，周围环绕着一系列石英壁。隔热室壁可保持持续高温，并确保整个室内热量均匀分布。该系统旨在控制薄膜或涂层在微芯片或晶片上的沉积。这是通过通过氧气、氮气、气体掺杂硅或这些气体的组合通过感应耦合等离子体（ICP）源来实现的。ICP源的设计目的是产生必要的电离粒子或离子，然后将其对准基板表面。这造成晶片表面和电离粒子之间的反应，导致产生热量，从而导致层膜沉积在基板上。AMAT Enabler的设计考虑了几个安全功能。该装置经过测试以满足行业标准压力和温度要求，设计为能够处理高达1000 °C的峰值温度。该机还配备了液压快门和先进的压力和温度控制机制，以便对沉积过程进行精确的控制和监测。该工具旨在提供较高的沉积速率，并且可以加工各种金属和材料，包括硅、钛、钨等。这座反应堆因其灵活性和能效特点而受到高度重视，是一系列半导体制造和工程应用的可靠选择。