二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler #9093619 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler是一种专为制造先进半导体材料而设计的反应堆。它提供了环境控制、过程灵活性和吞吐量能力,以应对业界最苛刻的挑战,包括高温沉积和蚀刻。AMAT Enabler由一个综合基室、一个容纳物料来源和运输系统的可移动头以及过程控制所需的关键部件组成。该腔室的设计目的是最大限度地提高吞吐量，并为各种过程保持受控环境。可扩展的磁头可以使光源在腔室之间快速移动,从而确保在大面积处理过程中具有极好的均匀性。腔室还允许高温沉积和蚀刻。该系统的设计目的是达到高达800 °C的温度，为先进材料提供高质量的氧化和氮化工艺。高温性能也为金刚石状碳（DLC）和其他纳米复合材料膜沉积在基板上打开了可能。APPLICED MATERIALS Enabler配备了具有开创性的能源硬件,可控制晶圆温度并确保高性能设备所需的均匀性。使用电子轰击（EB）或快速循环感应加热系统加热晶片。这两个系统都能够提供快速的热循环，并减少温度梯度造成的不稳定影响。启用码还支持高级过程控制软件,以确保在制造过程中根据需要监视和调整腔室中的所有重要参数。此软件使工程师能够轻松监控和调整过程参数,而无需进行手动调整。AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler是一种快速可靠的反应堆，有助于制造先进的半导体材料。其集成的组件、广阔的应用范围和卓越的控制能力使其成为半导体制造商的全面解决方桉。