二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler #9093620 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler是一种最先进的高效反应器，旨在促进半导体和光电应用薄膜的沉积。该设备提供了广泛的沉积化学和材料组合，高吞吐量和高工艺重复性。AMAT Enabler通过其可编程过程控制器（PPC）提供了极大的灵活性,使用户能够快速轻松地设置过程参数并实时监控反应堆运行。APPLIED MATERIALS Enabler的核心是其先进的电子回旋共振（ECR）等离子体源。这一来源在低压下运作，以便形成高能物质，这种物质能够以比其他来源更高的速率和更高的均匀性沉积物质。然后通过可调的喷射系统将放电输送到生长表面，该系统设计成在整个基板上产生颗粒的均匀通量。这个单元也可以用来为困难的薄膜创建一个可调的、高能的区域，例如氮化硅或砷化​​的。为了确保过程结果一致,Enabler配备了可编程的气体溷合机和超压保护,以及自动气体运动控制。这有助于减少气线交叉污染和气体摄入问题。此外,该工具还设计了三个加工区域。这些区域以倒V型配置排列，以优化均匀性，在整个基板上提供均匀的沉积。AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler还提供全面的流程诊断功能。它能够维持反应堆环境和监测过程参数，如压力、温度和流量。这样就可以优化沉积过程和最小化缺陷。此外，光学高温计可用于测量横跨基板的横向温度剖面，以进行工艺优化。AMAT Enabler是一种功能齐全、用户友好的沉积资产,旨在提供高质量的薄膜沉积能力。其高效率、多功能性、综合诊断能力，可用于存放多种材料和组合，具有可重复、高质量的结果。利用其PPC，用户可以轻松设置工艺参数，监控反应堆运行，优化沉积工艺。这使得APPLICED MATERIALS Enabler成为创造高品质薄膜半导体和光电应用的宝贵模型。