二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler #9215091 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler
已售出
ID: 9215091
晶圆大小: 12"
Oxide etcher, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler是一种沉积反应器,其设计目的是为半导体器件制造提供高质量的薄膜。该反应堆能够用于蚀刻或沉积应用,其设计重点是工艺多功能性、精确控制和优化结果。AMAT Enabler提供了几个子系统,以便更好地控制沉积过程。这包括双频微波发生器、精确温度控制,以及通过再循环进行工艺优化。双频发生器允许根据薄膜材料或过程步骤在10MHz和2.45GHz之间轻松更改频率。温度控制由先进的低噪声风扇维持,旨在确保室内墙壁均匀加热。额外的再循环系统进一步增加了系统的可能性,并提供了更好的温度控制和整个工艺室的均匀性。APPLIED MATERIALS Enabler反应器还提供了广泛的标准沉积材料,允许各种薄膜沉积应用。这包括多晶硅、硅化物、氮化物、掺杂非晶硅等材料,以及许多其他高性能材料。这一系列产品非常适合多种技术,如MEMS、LED、CMOS和纳米材料等。启用程序也是高效的,使用连续沉积方法,使过程时间最小化。这样可以在更短的时间内生产出更多的设备,这意味着可以在不牺牲质量的情况下实现更多的价值。此外,反应堆还被设计为与许多外围设备集成,如质量流控制器,以及提供易于使用的图形用户界面。这简化了设置,允许快速定制功能,并有助于加快流程变更和上市时间。AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler为先进的薄膜沉积工艺提供可靠、可重复的性能和精确的控制。它旨在提供最大的灵活性和与各种材料的兼容性,并能够提供现代半导体制造所需的工艺性能。因此,对于那些希望在最短时间内生产高质量设备的人来说,它是一个有价值且用途广泛的工具。
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