二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Encore II Chamber for Endura II #9201505 待售

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ID: 9201505
晶圆大小: 12"
12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Encore II Chamber for Endura II是一个完整、集成的设备,设计用于生产和处理微电子器件,包括硬盘驱动器组件、翻转芯片封装、离散半导体器件、内存芯片、MEMS和Biochip。其主要特点包括双区工艺室、先进工艺监测、集成工艺控制、快速热氮氧化能力、超低温加工等。Encore II Chamber配备了一个足够容纳两个工艺晶片的宽敞腔室,以及为便于使用而设计的高度先进的控制器。腔室提供严密的过程控制,能够精确的温度控制和可重复的操作。它还旨在提供一个统一和统一的温度环境,使结果随着时间的推移更加一致。集成过程控制系统允许对每个过程步骤进行高级控制,以及自动控制过程所需的所有大气、压力和温度。该室还具有热氮化和氧化能力,允许快速冷却和倾斜时间,以达到预期的效果。Encore II腔室利用多种传感器提供精确的可重复性和控制。它还具有一个集成的流程监视器,可实时监控流程,从而能够对流程性能进行详细分析。监视器还允许用户跟踪每个处理周期的压力、温度和大气等参数。Encore II室采用了先进的超低工艺温度技术,使该工艺能够在低于150°C的温度下进行,而不会造成任何性能损失。低温技术还有助于降低敏感部件的环境和电应力。腔室还包括内置风扇,以确保加工过程中温度稳定的环境。AMAT Encore II Endura II Chamber是一个综合性的集成单元,设计用于高效生产和处理微电子和其他敏感部件。其强大的特性和先进的过程控制使得高可重复性和一致的结果。是经济高效加工生产高端微电子等元件的理想机器。
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