二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 2 DSTTN #9204831 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2 DSTTN是下一代高温双单晶片化学气相沉积（CVD）反应器。该系统是为实现最佳生产效率而构建的,其特性和功能为高级流程提供了理想的解决方桉。AMAT Endura 2 DSTTN具有独特的底部对流设计，与传统的面向顶部的设计相比，提高了均匀性和过程容忍度。Endura 2配备了两个可独立编程的单晶片负载锁，允许一个卡带在另一个卡带正在处理过程中卸载。这种双端负载锁定可提高吞吐量并实现高效的两步过程。Endura 2还有一个"热墙"炉，它使用嵌入腔壁的电加热器精确传递沉积过程所需的热量。Endura 2拥有先进的晶片到晶片一致性、出色的等离子体均匀性和强大的工艺范围。该系统提供高级过程控制,确保了整个生产范围内最高级别的可重复性和可靠性。它已被证明对硅化物和氮化钛CVD等高温工艺特别有效。Endura 2还能够处理各种各样的基材，从传统的300 mm硅片到新的尖端玻璃和金属基材，包括GaN-on-Diamond和CaF2-on-Diamond。独特的双单晶片设计允许对两个反应堆的两半进行单独控制，允许针对不同基材类型的定制过程。此外，Endura 2还增加了几项功能，使其性能更加可靠。它配备了额外的HEPA过滤气闸，以进一步增强腔室清洁度，并具有自动校准功能，自动调整电子束以适应工艺条件。Endura 2还提供模块化设计,允许用户轻松升级组件。所有这些特点结合在一起，使Endura 2成为市场上最先进的高温CVD反应堆之一。Endura 2具有用户友好的界面和直观的软件,为高级沉积过程提供了终极解决方桉。