二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 2 DSTTN #9364585 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2 DSTTN是一种先进技术的大气化学气相沉积（APCVD）反应器，用于半导体、MEMS等行业的材料加工。其独特的气流动力学特性使沉积均匀，沉积速率更高，质量极佳。单晶片室设计创造了一个循环时间和经济高效的解决方桉，用于各种过程。AMAT Endura 2 DSTTN具有先进的工艺功能,如精密的配方控制、精确的气流、多源气体出口和负载/卸载系统。它有一个完全集成和锁定的沉积室，允许过程敏感和高产的先进半导体器件。此外，杜瓦专有设计允许高气压操作和高接受率的基板。反应堆的工作原理是引入四种不同的气体进料，每一种都有不同的化学和反应物。这些气体随后被加热，其成分被尾部消散板改变。通过精确控制温度、流量和成分，可以在基体上形成正在施工的装置所需的确切材料。APPLICED MATERIALS ENDURA 2 DSTTN设计独特,可减少沉积过程中不需要的反应副产物.利用内置的气流隆升机制，实现了较快的转化率和选择性区域沉积，导致了比传统系统更高的产量。此外，反应堆采用动态源控制技术，可在高达1000 °C的工艺温度下实现精确的薄膜涂层。Endura 2 DSTTN是先进半导体器件快速发展的理想工具，产生了不可重复的、具有全过程控制的大批量生产。其精密的CVD腔室使得生产用于错综复杂、非常小的器件的薄膜成为可能。此外,Dewar设计允许在高达1000°C的温度下具有灵活性和可靠的可重复性,从而确保了最佳工艺效果。