二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 2 #293642693 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2是一种高功率的先进等离子体蚀刻设备，设计用于广泛的关键应用，例如在下一代半导体上制造3D结构。这种多用途反应堆配置了高通量电离源技术,并具有专有APEX™（高级等离子体提取器）和Duo-ETCH®（双离子源能力）的出色组合,可提高基板覆盖率和精密蚀刻效果。在可配置性方面,AMAT Endura 2为制造商提供了针对不同工艺配方和参数的最高灵活性。它还提供了一种先进的10腔负载锁定解决方桉，一次最多可容纳10个晶片，用于极其精确的处理。FASSC®负载锁定技术可确保在整个过程中准确处理、跟踪和监视晶片。APPLICED MATERIALS Endura 2旨在为各种基材提供卓越的蚀刻精度、无与伦比的吞吐量和关键的工艺寿命,从简单到复杂。它结合了APEX™和Duo-ETCH®技术,可同时在所有腔室中实现高效的多腔室控制和过程同步。这消除了大量的手动跟踪和监视,这使得安装过程和蚀刻过程比以往任何时候都更快、更可靠。在系统控制方面，Endura 2反应堆集成了一套综合的优化、分析、分析特征。它的监控能力使工程师能够从头到尾跟踪蚀刻过程，最大限度地减少浪费并提高产量。该单元强大的实时检测和数据分析功能还允许提供详细的反馈，这些反馈可用于优化蚀刻工艺，同时确保基板的均匀性和精密蚀刻。机器人辅助的AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2干真空锁载机确保精细晶片的安全处理和均匀清洁。BVAVS（背侧真空磨料真空工具）自动清洗程序消除了手动装卸的需要,从而提高了操作效率并降低了污染风险。AMAT Endura 2直观的用户界面和易于使用的软件界面通过允许用户快速保存和复制蚀刻配方，进一步帮助简化设置过程。此外，APPLIED MATERIALS Endura 2配备了先进的自动化远程监控和数据收集资产，使用户能够实时监控模型的性能。此设备允许用户远程诊断任何进程异常或异常,并准确查看系统的运行状况。反应堆还具有集成的可追踪性管理功能，可帮助用户跟踪从过程开始到结束的蚀刻结果。Endura 2是一款功能强大的高级等离子体蚀刻装置，专为苛刻的工艺和应用要求而设计。它具有高通量技术、专有APEX™和Duo-ETCH®功能,能够高效蚀刻复杂的基板,而其自动远程监控和数据收集机器有助于确保精确可靠的工艺产量。