二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 2 #293827431 待售

AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2是应用先进等离子体工艺技术进行高精度材料沉积和干蚀刻的专用反应器。该反应堆具有特别广泛的潜在应用，提供全面的工艺特点和性能特点，支持制造最复杂的纳米结构。AMAT Endura 2反应堆的核心是其独特的等离子体技术，它提供了优越的工艺再现性和对预载配方的精确控制。这项技术旨在满足最具挑战性的蚀刻和沉积要求，例如纳米结构需要精确的金属、氧化物或有机薄膜沉积在各种不同特征尺寸的基板上。APPLIED MATERIALS Endura 2还提供了完整的过程解决方桉功能。这既包括单程多步处理，也包括反应堆可选晶圆载体设备的顺序处理。对于沉积型工艺，Endura 2最多具有四个气源，而对于蚀刻工艺，系统配备了等离子体辅助蚀刻单元。它还具有先进的诊断功能，如粒子分析、反流温度监测和集成石英晶体微平衡（QCM）。反应堆的建造是出于特殊的工程考虑。该装置可针对生产进行优化,有几个关键部件,如先进的烟气提取、定制的基板转移机器人界面和允许压力范围高达4 x 10-7 mbar的真空机。它还具有一个超大型腔室，可以同时提供多个工艺配方和配方，而不会限制腔室内部的空间。此外,AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2还提供出色的刀具性能和正常运行时间,并具有稳定、可靠的生产环境。这包括一些创新的功能，如额外的过程监测技术，集成晶圆和网页处理功能和复杂的预调整配方。这些功能结合在一起,旨在确保最高质量的工艺性能和产量。AMAT Endura 2是那些寻求可靠、高精度反应堆以满足其先进纳米结构需求的人的理想选择。它旨在提供前所未有的灵活性和可扩展性,同时提供无与伦比的可重复性和对预加载配方的精确控制。这个反应堆是任何制造实验室或研究实验室的必备工具，希望在纳米技术领域取得优势。