二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 2 #9220549 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2代表了先进反应堆技术的最新创新，是多种材料和薄膜应用的理想解决方桉。这款多区域、超高性能的PECVD设备具有五个工艺室,可为薄至几埃、厚达25微米的薄膜提供集成解决方桉。AMAT Endura 2的高性能沉积室融合了一整套先进的特点和高品质的分布。这个多区腔室配备了独特的流动分布技术，有助于保持沉积在整个基板上的均匀。该室还包括一个用于精确覆盖的综合均匀控制系统。这项技术能够维持高通量的生产过程,其工艺速率高达1,100 m/min。APPLICED MATERIALS Endura 2设计了一个最先进的等离子体源，这使得令人惊叹的薄膜沉积速率。其先进的等离子体源和磁场技术提供了对基板温度的精确控制，以实现更好的均匀性和优异的工艺稳定性。PECVD腔室还配备了实时颗粒控制和工艺后清洗技术，确保了广泛应用的最高质量。Endura 2还提供了一个集成的等离子体蚀刻室和一个CD计量室，允许这两个功能相互配合工作，以实现最大效率和效率。蚀刻室采用先进的双室技术，可加快循环时间，提高工艺精度。CD测量室为评估薄膜性能和厚度提供了一个全面的解决方桉。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2是许多高级工艺的理想选择。该综合单元采用自动基板处理程序，提供均匀的晶圆分布，提高安全性和效率。该机具有用户友好的触摸屏界面,可轻松控制过程,并便于快速优化。AMAT Endura 2还支持第三方自动化,以便更轻松地集成到现有生产系统中。该工具对工艺技术的先进集成使其成为半导体行业困难应用的理想选择。