二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 2 #9298227 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2是一种单晶圆垂直扩散炉（VDF）设备，用于半导体晶圆的高温扩散和氧化。AMAT Endura 2融合了技术、安全和生产力方面的创新。它有一个直径9英寸、无感应的链式输送机，设计用来容纳300毫米晶圆。它有两个前门，分别提供独立压力和温度控制的独立大气。APPLIED MATERIALS Endura 2旨在提供高质量的工艺结果。它有一个集成的自动气体系统，对氮气/蒸汽或氢气/蒸汽溷合物进行自动控制，以进行原位氧化。Endura 2还包括功能强大的嵌入式控制器和触摸屏主机。这种组合使流程工程师能够快速配置并有效地同时运行多个配方。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2是为安全和可靠性而设计的。它有几个安全功能，例如先进的操作员门互锁，以及一个故障安全门传感器，在门打开的情况下停止装置。该室配有冷藏冷却剂机，用于快速冷却和最小的热冲击。AMAT Endura 2具有很高的工作效率,由于其易于访问的部件舱口,因此可以快速切换各项任务。它具有RapidStart技术,可缩短配方设置时间并加快周期启动。它还具有DeepTemperature Control,可帮助确保可重复的过程结果。这项技术使工艺工程师能够精确控制底物区域内的温度和温度梯度,而传统的加热方法可能难以达到这些温度和温度梯度。APPLIED MATERIALS Endura 2旨在减少污染。它具有先进的工艺波纹管和等离子体清洁能力，有助于保持高水平的清洁。Endura 2采用标准的预制填料和排水口以及二级端口，以帮助减少来自外部来源的污染。总体而言，AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 2是用于半导体晶片高温扩散和氧化的先进可靠的VDF工具。它是一种高效、安全的资产,使工程师能够快速配置并有效地同时运行多个配方。AMAT Endura 2还设计了减少污染的功能。