二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP #293767283 待售
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ID: 293767283
优质的: 2000
PVD System
Front cover
AC Power box
Compressor rack
System rack
Monitor rack
Heat exchanger
(2) Compressors
(3) Dry pumps
(2) Pallets
(2) Boxes
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP是一种用于半导体工业制造先进薄膜材料的最先进的化学气相沉积（CVD）反应器设备。AMAT Endura 5500 HP由半导体行业领先的设备和服务提供商AMAT Inc.设计和制造,以其高性能、多功能性和可靠性而闻名,它沉积了多种具有卓越均匀性和控制力的薄膜。APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP具有水平批处理室,可容纳100毫米至300毫米的多个晶圆尺寸,从而提高吞吐量和生产率。反应堆配有高功率射频等离子体源和多种气体输送系统，能够精确控制沉积过程和薄膜性能。Endura 5500 HP的关键优势之一就是其先进的加热能力，允许高达1000摄氏度的温度控制，使得包括氧化硅、氮化硅和金属薄膜在内的多种材料能够沉积。该系统还配备了晶片冷却功能，以确保晶片表面的温度分布均匀，从而产生高质量、无应力的薄膜。反应堆还配备了先进的工艺控制单元，实时监控和调节气体流速、温度、压力、射频功率等关键参数，确保膜质量和厚度一致。此外,该机器还具有用户友好界面和直观的软件,使操作员能够针对不同的薄膜类型和厚度轻松编程和优化沉积配方。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP的设计也考虑到安全性和可靠性,具有多种安全联锁和故障安全机制,以防止过程偏差和设备故障。该工具旨在满足严格的工艺控制和自动化行业标准，确保沉积薄膜符合半导体器件制造所需的规格。在维护和维修方面,AMAT Endura 5500 HP专为方便访问和可维护性而设计,其模块化组件可根据需要轻松更换或升级。APPLIED MATERIALS还提供全面的培训和支持服务，帮助操作员最大限度地提高反应堆的性能和正常运行时间。总体而言,APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP是一种用途广泛且可靠的CVD反应堆资产,为半导体行业中先进薄膜材料的沉积提供了高性能、精确控制和灵活性。Endura 5500 HP具有先进的功能和良好的性能,是希望为其下一代设备实现高质量薄膜沉积的半导体制造商的首选。
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