二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP #293830683 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP是一种等离子体蚀刻反应器,用于各种先进的半导体应用,特别是残留物的蚀刻。AMAT Endura 5500 HP采用多面腔室设计,可促进晶圆的高效处理,并提供卓越的隔热性能。此模型可实现精确、可重复的过程,具有出色的一致性。此外,APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP还配备了先进的等离子体源和新颖的外部射频匹配设备,使用户能够根据其特定的处理需求定制等离子体形状和功率。Endura 5500 HP可以远程、手动或全自动模式运行。在手动模式下,用户可以利用直观熟悉的用户界面来控制反应堆参数,并根据实时性能改变处理时间。远程模式允许用户远程监视和控制反应堆,提供远程调谐腔室的灵活性。最后,用户还可以利用全自动操作模式,该模式允许对多达32个腔室设置进行编程,从而在所需腔室参数范围内实现高可重复性。AMAT/APPLICED MATERIALS Endura 5500 HP采用快速流动气体输送系统结合主动减气装置,实现低温、低压、高均匀性等行业领先组合。这种设计有广泛的应用,从薄膜沉积到深层蚀刻。此外,AMAT Endura 5500 HP的创新设计使其能够用于其他各种半导体处理任务。APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP的腔室配备了一个工艺腔室视口,允许用户实时监控处理。使用此视区,用户可以观察蚀刻模式,而无需打开腔室。5500 HP还配备了一系列诊断和监控端口,可以深入审查底层处理参数和腔室性能。此功能使用户能够更深入地了解底层化学以及被蚀刻底物的质量。Endura 5500 HP等离子体蚀刻反应器是一种最先进的机器,也是蚀刻残留物和其他半导体加工需求最可靠的工具之一。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP凭借其强大的设计和各种操作模式,为用户开发先进可靠的蚀刻工艺提供了理想的平台。
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