二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP #9093774 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP Reactor是最新一代AMAT旗舰系列半导体蚀刻工具。AMAT Endura 5500 HP反应堆是一种高功率、多室等离子体增强化学气相沉积（PECVD）反应堆，设计用于深亚微米IC处理。五室工具是专门设计为高度通用和高效处理多个设备结构与一个过程模块。APPLICED MATERIALS Endura 5500 HP Reactor提供了前所未有的处理高级超多级金属化、通过互连接触、本地互连和高密度互连的能力。五室工具配备了两区/垂直交错气体输送系统，旨在以各种速率精确地将多种气体输送到不同的处理室中。液体输送系统也可用于额外的工艺改进。Endura 5500 HP Reactor装有七个独立致动的PE-CVD工艺室，每个室都有独立的温度、压力和流量控制。数字控制系统允许精确定制和控制过程参数。该工具的大功率离子源能够处理极薄的栅极氧化物，并能够极好地控制微小模式的高通量。此外，AMAT/APPLICED MATERIALS Endura 5500 HP Reactor融合了先进的过程控制和监控功能，如在线离子源测量、端点配方确认和数据集成图形。这些工艺能力以及湿式清洁能力使5500 HP反应堆成为高效处理复杂结构的理想工具。AMAT Endura 5500 HP Reactor是一款功能强大、全面的工具，旨在满足先进IC制造的严格需求。APPLIED MATERIALS ENDURA 5500 HP Reactor具有先进的工艺能力、高通量和独立的腔室致动能力,是生产过程要求复杂的亚微米结构的最佳选择。