二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP #9239684 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP是为高通量、精密薄膜沉积而设计的最先进的沉积反应器。AMAT Endura 5500 HP能够处理多种材料,设计用于处理复杂薄膜的沉积和需要精确温度和气体控制的薄膜沉积等具有挑战性的过程。该反应堆非常适合各种材料，包括：半导体、电介质、硅化物、氮化物、光伏器件的薄膜、光学系统、照明应用和生物医学植入物。APPLICED MATERIALS Endura 5500 HP配备RF和DC电容耦合源和多区分布式磁感器。其独特的敏感器设计降低了冷区加热电位，使整个基板的受限温度不均匀。反应堆电子发射面积大，允许在单晶片和间歇过程中稳定运行。此外,获得专利的双直接外部视窗还可以更好地控制和监控过程。Endura 5500 HP采用直观、自动化的控制和监控系统,能够快速、精确地控制沉积参数。EcoPulse和Vision技术提供了简化的用户体验和自动化,从而缩短了流程启动的时间。同时，先进的温度和气流控制确保了精确的沉积控制。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP具有很高的可靠性、高效率,并利用增强的射频匹配技术和获得专利的腔体技术来实现最高的精度和均匀性。其高可靠性使客户能够补充现有系统，提高生产能力，而不会培养麻烦的学习曲线。选择AMAT Endura 5500 HP的客户可以从高产率和卓越的流程可重复性中受益,而且停机时间最短。此外,APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP旨在最大限度地减少能源和材料消耗。其主动室冷却器利用亥姆霍兹原理降低载气压力，而低流量设计则最大限度地减少了携带工艺气体所需的能量。该系统还采用了湿式清洁部件和车载计量技术，既节省了成本又节省了浪费。Endura 5500 HP是需要卓越工艺控制和信任的大批量工艺和制造商的理想选择。