二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP #9373206 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP Reactor是一种紧凑、高性能的CVD处理设备，适用于各种先进的材料处理应用。它具有一个获得专利的2区高真空加热器装置和一个6 "x 6"（152 x 152毫米）的磁感器，可以完全独立地控制源和基板温度。灵活、集成的配置为各种高温应用提供了高吞吐量。AMAT Endura 5500 HP获得专利的双区域加热器实现了源和基板温度均匀性的同步控制,从而实现了快速、可重复的工艺开发。该设计确保整个基板区域的温度和压力分布均匀，提高了工艺的均匀性、可靠性和产量。APPLICED MATERIALS Endura 5500 HP Reactor的主室具有水冷屏蔽功能，有助于促进过程的均匀性和改进过程控制。大容量循环系统在腔室内提供均匀的温度分布，保证了过程的可重复性。此外,还可以旋转磁感器,提供额外的灵活性以确保均匀处理。Endura 5500 HP Reactor还具有广泛的工艺，包括CVD、溅射、蚀刻和扩散。它针对高温过程和组件进行了优化,在不到一分钟的时间内达到2000 °C的温度。配置了一系列集成配件，可以对设备进行优化，以满足各种应用的特定处理需求。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP Reactor的易用性使得它非常适合与LED、MEMS和微电子相关的各种应用，仅举几例。直观的控制软件提供高级流程开发功能和配方创建程序,以方便工作流。模块化设计和用户友好界面允许快速、轻松的工艺参数设置。总体而言，AMAT Endura 5500 HP Reactor适合各种先进的应用和工艺，需要紧凑、高性能和可重复的CVD加工机。集成的设计、用户友好的界面和优化的过程提供了增强的过程统一性和产量,使其成为高精度任务的理想选择。