二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 VHP #9373207 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 VHP是一种先进的化学气相沉积（CVD）反应器，旨在方便各种材料的沉积，例如硅和介电膜，以及多种其他材料。AMAT Endura 5500 VHP反应堆使用工艺室，利用AMAT和CVD"掺杂"气体的组合，将材料的薄膜层沉积到基板上。在这一过程之后，在薄膜沉积之前快速退火，从而提高了沉积薄膜层的质量。反应堆由几个主要部件组成：主室、上游室、基板级和气体喷射设备。主室是一个超高真空（UHV）系统，包含基板级，在沉积过程中保证高纯度。上游腔室包含各种气体管线和组件来支撑过程，如喷射器和气体管线。反应堆配有高精度控制，允许使用者调节基板的流动，对气体进行掺杂，确保均匀、高质量的沉积。基板温度也使用石英传感器精确控制，保持在250°至400°C的可调范围内。还保持了可调节的反应室压力，以获得最佳的工艺稳定性。APPLICED MATERIALS Endura 5500 VHP反应堆配有安全功能，以确保附近所有在场人员的安全。这包括机械门互锁、压力传感器和逃生按钮，以确保设备的所有部分正常工作。应急气体隔离机和灭火工具也提供了额外的安全性。反应堆的运行效率极高，使用户能够实现较高的沉积速率、卓越的精度和可重复性，以及优异的材料质量。高吞吐量和全面自动化功能可最大程度地减少停机时间,从而提高产量并缩短周期时间。此外，反应堆可靠、耐用且易于维护。Endura 5500 VHP是一系列材料和介电膜沉积的理想选择。其先进的特性，包括高精度控制、安全特性、效率和耐用性，使其成为CVD行业中可靠、高效的选择。