二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #186220 待售

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ID: 186220
晶圆大小: 8"
TxZ System, 8" Narrow Body Load Locks CH A Cooldown CH B PT CH C Preclean CH D Preclean CH E/F Orienter Degas CH 1 IMP TI CH 2 TxZ CH 3 TxZ CH 4 IMP TI.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500反应堆是一种最先进的腔室设备,设计用于半导体器件制造的各个方面,从初始沉积和蚀刻到清洁和修理。AKT Endura 5500是现有最先进的沉积和蚀刻设备之一,为关键的制造过程提供卓越的性能、精度和控制。该反应堆具有革命性的无空隙封闭式腔室,可绝对控制过程,在不影响生产率的情况下实现可预测的薄膜和器件质量。AMAT ENDURA 5500采用了集成的预对准器,这提高了反应堆的速度、精度和可靠性,同时最大限度地减少了安装时间。预对齐器还允许精确的参数设置,因此用户可以根据其特定的工艺控制要求调整工艺室。此外,APPLIED MATERIALS ENDURA 5500包括许多高级过程控制系统,例如实时过程控制监视器和一套分析工具。实时流程控制监视器允许用户实时监控自己房间的性能,提供对流程的完整洞察。此外,该系统允许自动调整过程参数,以补偿腔室环境的变化,允许用户实时精确控制过程。这套分析工具结合了室映射、层映射和配方分析等特征,使用户能够快速诊断和调整影响过程的变量,如沉积、缺陷和均匀性。反应堆体积小巧,基板加载装置柔性,进一步使其成为晶圆制造的理想选择。自动化基板装载机可提高吞吐量,并允许同时装卸多个基板,从而实现更快的吞吐量和更一致的工艺结果。最后,AMAT Endura 5500是一种革命性的沉积和蚀刻反应堆,提供了前所未有的工艺控制水平、精度和可靠性。从独特的无空室到复杂的工艺控制系统,AKT ENDURA 5500为工程师提供了一整套复杂的硬件、软件和自动化解决方桉,以实现强大、可重复的设备制造。
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