二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293752211 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500是一种沉积设备，设计用于制造用于先进材料加工应用的薄膜。该系统基于Endura平台,为改进过程控制和产量提供了增强的均匀性、稳定性和可重复性。AKT Endura 5500适用于生产高k介电层、激光天线、保形膜等一系列半导体应用的薄膜材料和器件。AMAT ENDURA 5500采用冷壁水平热场反应堆配置。这种设计最大程度地提高了工艺室的温度稳定性和均匀性，同时最大程度地减少了沉积非均匀性。坚固的反应环境保证了对底物温度和气体流动的精确控制。此外，该单元允许使用顺序和共沉积过程。AMAT Endura 5500配备了高级流程监控系统，设计用于流程前和流程后监控。此功能可实现实时过程控制和特性描述功能。专有的基于电容的计量机有助于确保精确的薄膜厚度监测和可重复的均匀性。此外,流程控制工具可实现全流程自动化。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500是一个高通量反应堆，提供从多达四个负载锁定站的自动晶圆处理。通过防止污染和最大限度地减少处理时间,可以在不影响质量或吞吐量的情况下快速处理批次。工艺室的设计还考虑了在恶劣条件下的高输出操作，最大限度地减少了腔室的维护要求。Endura 5500包括一种排气资产，旨在捕获和疏散产生的颗粒和挥发物，同时尽量减少环境足迹。这有助于保持稳定和安全的工作环境，保持过程环境的谨慎管理。而且，这种反应堆是CVD就绪的，并且经过设计，便于与CVD和PE-CVD工艺集成。总而言之,APPLIED MATERIALS Endura 5500将卓越的性能、工作效率和多功能性结合到一个单一的沉积模型中。
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