二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293762777 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 Reactor是一种先进的纳米加工祖父型工具,可实现超低噪声电子制造,具有极高的工艺性能。它具有优化的环境,为高性能设备制造提供了出色的稳定性、可重复性和改进的吞吐量。它的三个区域设计允许最大基板尺寸为300 mm,最大行程范围为10 cm。这些腔室由两个静电主动腔室和一个无源基板载荷/卸载腔室组成。活性室设计用于背面和正面加工，能够在各种类型的基板上提供卓越的加工能力，包括多层介电膜、金属膜和金属氧化膜。AKT Endura 5500具有较大的主动加工区，实现0.25um间隙处理，具有敏感工艺和组件的低温特性。它还提供了一个创新的气体溷合系统，允许对工艺环境进行精确控制，并已设计为尽量减少颗粒污染和提高工艺性能。AMAT ENDURA 5500具有背面和正面处理功能,使其用户能够完成制造过程,而无需在腔室之间传输晶片。它还具有集成的微波辐射传递、柔性电极对准和非氧化前体引入能力，用于非常精确的沉积过程。AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT ENDURA 5500配备了高性能的过程控制器，提供方便的访问、实时的过程控制和监控，以及易于编程和数据收集。它具有高效的拖放编程接口以及各种设备和材料类型的集成配方库。总体而言,AKT ENDURA 5500 Reactor为设备制造提供了一个出色的平台,从复杂的2D设计到更标准的3D应用。它具有非常低的噪声制造能力，强大的工艺能力，易于编程，是高精度操作和可靠设备制造的理想工具。