二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293763421 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500是一种为半导体制造而设计的反应性离子蚀刻（RIE）设备。该系统利用各种工艺气体和射频功率将特征蚀刻到基板中。AKT Endura 5500专为多种蚀刻化学和技术而设计，包括深层电介质、浅层沟槽隔离（STI）和敌对材料的器件蚀刻。它具有304个不锈钢真空室，可加工8英寸晶片，表面积可达30平方厘米。AMAT ENDURA 5500包括先进的安全功能，如自动关闭阀、腔室清洗、泵和传感器，以确保人员和设备的安全操作。它提供了一个方便的腔室访问，使用户能够在不打开真空室的情况下更换电极和加工夹具。这在工艺成本效益和时间效率方面是有利的。该机组配备了一个地面隔离的高功率射频电源，提供高达13.56 MHz 2000W的射频电源，用于快速精确的模式蚀刻。它还具有高精度天线机和可根据特定工艺条件量身定制的快速移动扫描线圈。APPLICED MATERIALS Endura 5500采用量身定制的算法,在宽过程窗口内自动优化蚀刻过程参数,以获得高质量的蚀刻轮廓。RIE工具设计有多种工艺气体喷射器，具有最高的灵活性和优化的工艺能力，气体溷合组合方法，以及精确的压力控制资产，以确保最佳工艺和精确的蚀刻结果。集成的快速流程优化模块允许快速、简单地设置新的蚀刻流程。APPLIED MATERIALS ENDURA 5500有变温控制的腔室，以及自动控制的基板预热。它包括一个软件界面，方便访问流程配方、数据记录和经验参数优化。总体而言,ENDURA 5500是一种前沿、经济高效且高度灵活的反应性离子蚀刻模型,可为广泛的应用提供卓越的蚀刻效果。该设备配备了多种先进的特性和功能,使其成为当今半导体制造行业可靠而高效的工具。