二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293768842 待售

AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura 5500反应堆是一种专门的工具，旨在加速和便利关键的半导体加工任务，如电化学沉积和蚀刻，生产复杂的半导体器件。这种超高真空反应器能够处理各种材料，包括：金属化层、电介质膜、绝缘膜、各向异性导电膜和光致抗蚀层。这种广泛的处理能力，加上其高性能的设计，使得AKT Endura 5500成为各种不同任务的可靠处理站。AMAT ENDURA 5500是一个支持多过程能力的特高压反应堆。该系统采用行业标准的机电一体化体系结构,需要最小的维护和最大的可靠性。其高功率、多源等离子体源能够为各种蚀刻过程提供低频（RF）功率、脉冲RF功率和低温直流偏置。此外，多源功能也使系统成为严格的过程控制和蚀刻气体使用的理想选择。APPLIED MATERIALS ENDURA 5500利用四门热源及其双向涡轮分子泵和间接加热实现低压高温等离子体处理。该系统的温度控制平台能够将温度控制在1摄氏度以内，使其成为低k聚合物和介电沉积等工艺的理想选择。此外，这种热源能够控制各种基板上的温度。此外,APPLIED MATERIALS Endura 5500包括高精度手势识别和机器人运动控制技术,可实现精确、自动化的晶圆处理和定位。这项尖端技术加上可编程的配方脚本编写功能,使操作员能够快速创建高度自动化和可重复的配方,从而实现快速循环时间和降低操作成本。AMAT Endura 5500旨在实现与工艺分析、数据记录、计量和材料跟踪系统的无缝集成,使其成为小型和大型生产环境的理想选择。其直观的操作员界面确保了用户友好的操作,同时实时分析和远程诊断功能大大减少了停机时间。Endura 5500是需要多功能、高精度处理工具的操作的理想选择,该工具能够满足广泛的处理要求,同时还能轻松处理复杂的任务。其高性能、可靠性和自动化功能为客户提供了满足其生产要求的保证,同时也显着降低了其运营成本。