二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293809674 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500反应堆是一种紧凑、经济高效、全面、自动化的化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）和化学机械抛光（CMP）处理设备。AKT Endura 5500的创新设计让工艺工程师降低成本，提高吞吐量。AMAT ENDURA 5500的核心是高性能、高通量的反应堆设计。反应堆设计有一个可容纳多达10个基板的大腔室，以及一个提供灵活性的集成高通量工艺技术，为每个特定应用修改和优化工艺参数。综合工艺技术还包括动态气流调节，确保整个晶圆表面的最佳工艺控制和均匀性。AKT ENDURA 5500提供了一个复杂且功能丰富的自动化系统,使基板的处理和监控变得轻松高效。该单元设计为在批量和连续模式下运行，为流程工程师提供定制其处理协议的灵活性。此外,集成控制系统还提供实时自适应学习控制功能,使流程工程师能够检测和消除流程变化。ENDURA 5500由于其低压反应室，有能力以高度精度和均匀性进行CVD、PVD和CMP工艺。这使工艺工程师能够在目标基板上创建薄而均匀的材料层,这对于优化设备性能至关重要。此外，该机的双极性目标的集成，使可变比率和增强脉冲频率的CVD和PVD过程的改进控制。AMAT Endura 5500还配备了先进的安全功能，如惰性气体监测工具和防止过程污染和限制底物暴露于极端温度的低压清洗。其他功能如自动晶圆映射、闭环过程监控和康宁LP4玻璃板重新校准确保了过程的最高质量。总体而言,AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT ENDURA 5500为加工工程师提供了一种高效和高性能的资产,专门设计用于以低成本、高吞吐量和出色的准确性和统一性加工基板。APPLIED MATERIALS ENDURA 5500具有强大的高通量反应堆设计、精密的自动化模型和先进的安全特性,是需要高精度薄膜沉积和CMP工艺的工艺应用的理想选择。