二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293810498 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500反应堆是一种先进的加工技术，设计用于在各种半导体基板上提供可靠、精确的半导体薄膜沉积。AKT Endura 5500提供了许多好处,包括：模块化设计以方便维护任务, 最大限度地提高过程的灵活性,提高过程的可扩展性和缩短周期的综合软件套件,以执行所有沉积运行并实时监控反应堆磁控管溅射和热蒸发在同一腔室内的结合,增强了工艺能力,减少了设备占用,大体积反应室提供了更大的吞吐量,综合真空系统提供了较低的工艺温度, 使薄膜特性得到改善，缺陷程度降低自动清洁和维护系统，具有出色的可重复性和正常运行时间。高度可配置的工艺参数，用于使薄膜与基板结构精确匹配。可靠、精确的沉积机制，可用于最优质的薄膜 "智能洗涤器"减少颗粒生成，进一步改进工艺非均匀性气体供应系统，便于精确控制反应室中的氧气和其他气体种类多区射频源以实现最大灵活性综合安全系统，以确保操作员安全和工艺可靠性，高级加热/冷却选项，以确保按要求精确温度控制AMAT ENDURA 5500，旨在提供各种薄膜的精确沉积， 从屏障层和保形互连层到复杂的3D结构。这座反应堆采用先进技术设计，并使用最新一代的硬件和软件，以确保出色的效果。它提供了最大的灵活性、可重复性和过程性能。通过使用此技术,工程师能够创建具有可预测性能特性的薄膜,从而提高工艺产量和产品质量。