二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293814954 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500是一种先进的离子注入（起始）反应器，旨在通过更大的灵活性、精确的准确性和可重复性实现高工艺性能。AKT Endura 5500专为满足广泛的应用需求而设计,在半导体器件制造方面有着良好的记录。AMAT ENDURA 5500的专利特性允许平板显示器、MEMS、激光和微处理器的快速处理。其先进的设计确保了许多晶圆尺寸的精确、可靠和可重复的植入结果以及高吞吐量。AKT ENDURA 5500的聚合物结构设计包括三个部分：不锈钢真空室、450°C炉和自动化材料处理设备。集成的旋转支撑确保在处理过程中可以控制离子束的植入。获得专利的Wiltron™探测器控制系统（DCS）使精确的光束轮廓参数能够根据特定的应用需求进行调整。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500为用户提供了多项好处。其自动化单元提供业界领先的维护时间表、用于即时刀具状态的自诊断机、用于精确调整的离子束电流监视器以及自定资产。此外,易于使用的软件提供了一个用户友好的界面,并提供沿着X和Y轴的自由形式运动以及一键操作。该反应器具有自校准支撑系统和过程气体管理模型，以确保稳定和可重复的植入性能。光束电流监视器允许工艺工程师和操作人员调整离子束性能以达到精确的要求。为保持生产正常运行时间，Endura 5500配备了用于设备例行清洗的集成源提取工具。最后,APPLIED MATERIALS Endura 5500是一种具有卓越工艺性能的离子注入反应器.其先进的设计和自动化的物料处理系统保证了最大的工艺准确性、可重复性和用户友好性。凭借其集成的旋转支持和内置的优化工具，AMAT Endura 5500是生产和制造半导体器件的理想工具。