二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293819415 待售
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ID: 293819415
晶圆大小: 8"
优质的: 2019
PVD System, 8"
(2) Chambers
(2) Monitors
Wafers run: 50000
2019 vintage.
AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura 5500是一种革命性的半导体晶圆制造反应堆,为精确可靠地生产复杂的三维器件结构提供先进的工艺技术。这座先进的生产反应堆采用精密工程建造,为薄膜光刻胶和其他材料的沉积提供了精确、高精度的环境,符合严格的规格。该晶圆制造反应堆采用独特的整体平台方法,将垂直腔室及其组件集成到一个单元中,以优化性能并提高生产吞吐量。这样就大大节省了能源,减少了活动部件,降低了维护成本。AKT Endura 5500具有热塑性TM工艺室,旨在提供室内平滑、均匀的等离子体流动,从而提高蚀刻性能、均匀性和沉积物重复性。它还提供了包括EZViewTM在内的一整套高级工艺控制工具,使操作员能够对蚀刻和沉积参数进行高级调整。AMAT/AMAT ENDURA 5500是一种用途广泛的晶圆涂层反应器,可用于生产使用多种材料的设备,包括金属氧化物、光致抗蚀剂、氮化物和II-VI化合物。它配备了最先进的自动校准系统,用于快速准确的校准。此外,它还有几个超高真空(UHV)多晶圆处理的选项,以及远程等离子异位处理。此外,该系统还可以与工具跟踪软件集成,使操作员能够实时监测和分析生产过程趋势。APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500具有多项高级功能,可实现卓越的工艺性能和产品产量。它具有多位置工艺模块,允许腔室轻松容纳多种配方,并能支持广泛的工艺化学。该系统还利用反应性气体洗涤器减少杂质,提高了工具的正常运行时间。此外,自动等离子体清洗和动态过程调整功能允许更可靠和经济高效的处理运行。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT/AMAT Endura 5500是先进半导体晶圆制造应用的完美工具。它利用专有技术简化制造过程并加快产品产量。这种先进的反应堆被用于从消费电子到汽车、航空航天和医疗设备应用等多个行业,用于生产高质量的设备。为复杂设备结构的生产提供了可靠、高精度的环境,产品产量更高。
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